《微电子技术测试原理与实验》课程实验教学大纲

（Microelectronics Technology Principle and Experimental Test）

课程编号：109169学分数：3.0

课程类别：专业课课程性质：必修

总学时数：72实验学时：36

授课学时：36独立设课：是

一、实验课程的目的与任务

结合本学科本科生培养教学计划，本课程是重要的专业实验/实践环节教学课程。课程独立授课，围绕学生所修的固体物理，半导体器件基础，半导体工艺原理，IC制造技术，半导体光电子学等，本课程任务书参考有关教材优点，从实验的必要性、代表性及实验室条件及培养对象的特点，选取紧密联系实际，有代表性和专业经典的实验项目，安排组织教材和教学内容，使学生更好地理论结合实际，结合应用，为国家培养高素质综合型应用人材。

课程前36学时讲授微电子技术测试原理和方法，注重讲解各项测试的测试/测量理论基础和结构模型，测试的意义和测试方式。使学生更深层次理解实验的原理及目的，要解决的问题及如何解决的途径。

课程后36学时学生分组滚动进行动手实验。要求学生预习实验指导书，了解实验仪器的性能和掌握使用方法和步骤，根据实验测试要求进行实际操作。强调每位学生都要动手参与，端正实验态度，锻炼学生解决和处理科学测试问题的能力及对实验结果的规范表达，获取真实的实验数据，按学校格式要求完成实验报告。

实验时注意人身、实验仪器设备安全，养成良好的科学态度和实验习惯。

二、实验内容与要求

注：实验类型指演示、验证、综合和设计。综合性、设计性实验内容及要求另附大纲，表中标明“参见《综合性、设计性实验教学大纲》”。

三、考核及实验报告

（一）考核

每次实验报告总评/课堂实验动手能力、态度及考勤综合考评，比例70%/30%

（二）实验报告

实验报告封面填写完整。实验前预习和理解实验目的要求，具体实验内容，仪器操作和实验方法（步骤）。动手操作获取（原始）实验数据，计算、分析、描绘曲线等，给出实验的结果和结论及体会，有条件的完成实验思考题。

实验报告领用三江学院统一格式，每人单独完成。下次实验交上次报告。

四、主要仪器设备

硬件：(台套数略)

直流稳压电源、双目正置式金相显微镜、DDS数字信号源、双踪/四踪数字存储示波器、双目正置式反射金相显微镜、数字储存示波器、数字电路实验箱、霍尔效应实验组合仪、硅光电池特性实验仪、晶体管特性图示仪、数码金相显微镜、IC功能测试台、数字万用表、PN结正向压降温度特性测试仪、四探针表面薄层电阻测试仪、半导体单晶少子寿命高频光电导衰退法测量仪、微机等。

软件：Windows操作系统，视频显微镜使用软件。

五、教材及参考书

教材：

樊路嘉．微电子技术测试原理与实验指导书．南京：自编(2014.12增加新实验内容重审再版，三江大学印制)

参考书

1. 九院校编写组. 微电子学实验教程. 南京：东南大学出版社，1991.

2. B. G. Streetman. Solid State Electronic Device. DriweHall，2000.

3. 朱正涌. 半导体集成电路. 北京：清华大学出版社，2001.

4. 李乃平. 微电子器件工艺. 武汉：华中理工大学出版社，1993.

5. Richard C. Jaeger. Introduction to Microelectronic Fabrication，2002.

6. [美]Michael Quirk. 半导体制造技术 (中译本). 北京：电子工业出版社，2004.

7. 孙以材. 半导体测试技术. 北京：冶金工业出版社，1984.

8. 刘恩科、朱秉升、罗晋生. 半导体物理学.北京：电子工业出版社 2003.

六、说明

无

执笔人：樊路嘉    审核人：赵俊霞    分管院系领导：王芳

      编写完成时间：2015-09-30